EUV光刻机共有三大核心技术，分别为EUV光源系统，高精度弧形离轴反射镜构成的光学系统以及超高精度真空双工件台。其中EUV光学系统就像科幻世界中的虫洞那样，这边是碳基人类的物理世界，那一边则连接着硅基微观赛博世界。

王大珩和他领导的长春光机是龙头老大，所以EUV光刻机的高精度弧形离轴反射镜系统，长春光机所义不容辞挑起了大梁。 落英行者roywalker的微博视频

发布时间： 2023-10-10 07:47:10